生产厂家：Supra XPS

设备型号：AXIS-SUPRA

主要技术指标：

1.能量扫描范围：-5～3000eV（XPS）；

2.最佳能量分辨率：≤0.45eV（XPS），100meV（UPS）；

3.最佳空间分辨率：≤3 μm (X射线光电子成像)；

4.分析室最佳真空度：优于2*10^-10 mbar；

5.分析室工作时的真空度：～2*10^-9 mbar（打开X射线源的情况下）

应用范围：

光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息（3-92号元素）；可对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像；还可利用UPS（紫外光电子能谱）研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。

样品要求：

1. 检测元素：3-92号元素 

2. 样品无放射性，无腐蚀性，无磁性，无毒性；

3. 样品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解，无挥发性物质（如单质Na，K，S，P，Zn，Se，As，I，Te，Hg或者有机挥发物），避免对高真空系统造成污染；不大量放气（尤其是腐蚀性气体）；若含有高挥发性分子或coating，请务必先行烘烤抽除；高分子样品在送样前须进行干燥处理。

4. 样品须为固态样品（片状、块状或粉末）：

（1）粉末样品：彻底干燥，研细，无挥发性，无腐蚀性，不易变质，样品量20 mg以上；

（2）块状样品：面积小于10 mm*10 mm，高度不超过2 mm（表面要平整）；

（3）薄膜样品：面积小于10 mm*10 mm（测试面要做好标记）。

测试项目及价格

XPS测试（表面及深度）：240元/样（窄扫元素数量3个之内，每多一个元素20元）

XPS测试（mapping）：500元/样

紫外光电子能谱UPS测试：400元/样

测试说明

1. 含量小于2 %的元素有可能测不出明显信号，具体要看元素的灵敏度，如元素的含量比较低需注明，我们会适当增加扫描次数。

2. 元素窄扫默认测试最强峰，如最强峰和其它元素的峰有重叠默认测试次强峰，如需测试其它轨道需注明，一个元素同时测试多个轨道按多个元素计费。

3. 具有放射性、粘稠潮湿的、易挥发性、不稳定的物质和强酸强碱性样品无法测试，例如 S、Na、K 金属单质， Fe 块，金属氟化物等。

4. 单次刻蚀深度不超过 20 nm，总刻蚀深度不超过 50 nm。刻蚀前后均测试，不收取中间的刻蚀费用，只收取相应次数的测试费用。

5. XPS定量分析属于是半定量分析，误差较大。特别是对于C元素定量以及多孔材料的元素定量。

6. XPS测试总会有污染碳的存在，用于校准（C 1s：284.8eV），刻蚀可以避免污染碳的出现。